Импедансная технология используется для измерения микроконцентрации воды (H₂O) / температуры точки росы по воде.

Принцип действия технологии показан на рисунке.

На керамическую подложку нанесено три слоя: пористый проводящий слой, активный адсорбирующий слой и еще один проводящий слой. Все три слоя имеют исключительно малую толщину (порядка 1 мкм). Таким образом, вся система представляет собой подобие конденсатора, емкость которого зависит от полного сопротивления (импеданса) адсорбирующего слоя. Через верхний токопроводящий слой газ свободно проникает в адсорбирующий слой. Вся система чувствительна только к молекулам воды, поскольку молекулы воды обладают крайне высоким дипольным моментом.